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    时时彩卡时间漏洞: 中华人民共和国国家标准GB/T 1557-1989 硅晶体中间隙氧含量的测定

    宁波鄞州瑾瑞仪器设备有限公司2010年6月5日 14:17 点击:1860

    时时彩网络平台 www.qlgr.net 中华人民共和国国家标准GB/T 1557-1989
    硅晶体中间隙氧含量的
    红外吸收测量方法

    1 主题内容与适用范围
    木标 准 规 定了用红外吸收测定硅晶体中间隙氧含量的方法。
    本标 准 适 用于室温电阻率大于().IQ -C M的硅晶体中氧含量的测量。测量范围为:氧的浓度从
    3.5 x 10 18 at·C二3至最大固溶度。
    2 原理
    2.1 本方法是用红外光洪仪测定硅一氧键在1107c-"1 (9.033411m)处的红外吸收系数来确定硅晶
    体},间隙氧的含址。凡是有该硅一氧键特征吸收带的任何晶体均可适用。
    2.2 木方法借助}硅单晶中氧含量与11 07cm_’ 处红外吸收系数之间的关系。
    3 测t仪器
    3.1双光束红外分光光度计或傅立叶变换红外光谱仪。仪器在1 107cm一‘处的分辨率应小上5 cm o
    3.2 测u样品架。
    3.3 低温测U装置,能使试样和参比样品维持78K的温度。
    3.4 干分]泛,精度0.Ol mm 。
    3.5 标准平面平晶。
    4 试样制备
    4.1 测址试样的制务
    4.1.1 切取的试样经双面研磨,两表面尤刀痕、划伤,试样的厚度偏差应小]-101x-。
    4.1.2 研磨后的试样经机械抛光或化学抛光(仲裁时应用机械抛光样品),使两表面均呈镜uu, 在
    测U:部位应尤桔皮和小凹坑。
    4.1.3 在试样测量部位,两表面的平整度均不大f"2.Nm。
    4.1.4 在测量部位试样的厚度差应不大f1011m。
    4.1.5氧含址大f或等f1、1017at ·cm-3的试样厚度约为2m m;氧含量小]"1 x 1 017at. cm -3
    的试样厚度约为IOM M.
    4.2 参比样.卯」的选取与制备
    4.2.1 参比样品用78K空气参考法选取(见附录A)。
    4.2.2 参比样.钻的制备同4.1.1一4.1.4条。
    4.2.3 参比样品与待测试样的厚度差应小f0.5%。

    (来源: 宁波鄞州瑾瑞仪器设备有限公司


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